（来源：上观新闻）
这意味着，光纤🇧🇾阵列必须在距晶圆🦗或芯片表面☁保持精确间距💑的同时，对耦🦶🥂合器角度进行💉👚微调，以最大化光💼功率传输🛂，再依次😛扫描不同波长范🐲🧘♀️围🧂💗。据《华尔街日报》🎄报道，🧞♂️🥫ASML🦷🇨🇽计划202👩🔧6年生产🇹🇳至少60🌑台标准E🇧🇼UV光刻机，较👨👨👧✋2025年增长3🔓📌6%，⏏💏明年目标进一步🌙提升至80台📨🎾。
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