（来源：上观新闻）
金属化后，在 💶🏣300m🇦🇩👨🔧m 全厚度🅿硅晶圆上覆盖一👮♀️❌层碳氮化硅🎉💚 (SiCN)，🎩与二氧化👩👩👧👧⏸硅 (SiO2)🔒🕝 相比，Si🐀CN 在较低的退🎱火温度🧂下具有更高的😹键合强度，并能🇸🇧改善铜扩散☝阻挡层的性能🏊。
3. 需要新的评👣♑估框架😪：当前的评估方📕🕥法仍然大体建立🇸🇧🐐在基准测试（b🤘💈enchm💻ark）之上，而💞🧩这种方式🏬有两个重要局👿限🎗。这个门槛在不🔥🏣同学科中可以有不🥳同定义，但一个🥄很实际的标准是，👶👿它是否🇰🇲能在一个科研项目🎸里做出与研究生相🔇🏛当的贡💣献🎯😎。
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