（来源：上观新闻）
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在混合键🎓👈合过程中，键合头🇰🇲🍀拾取芯片，将其移🔓🦅动到基板或晶圆上🔴🏬，并施加压力以🇮🇱🗡在铜层之间形成直🐫接键合🇺🇬。仿真结果表明🎖🚣♀️，在芯片-🦈晶圆键合工具上🔤执行Tx/Ty🎦👩🎤/Rs🇵🇫🛸校正后，畸变🌿可从X/Y 🇱🇧= 174.3n🇲🇫🚿m/142🐃.2nm (🇨🇷m3s)📁 改善至X/🦕➕Y = 4🎩😯5nm/🚿39.😉3nm👛 (m3s👨💻)🔋。
