（来源：上观新闻）
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仿真结果表明🦹♂️，在芯片🦛🇨🇼-晶圆键合工具上🔡🛍执行T🌃x/Ty/😏Rs校🇵🇷正后，畸变⌛🕓可从X/Y ⬛= 174.3👞nm/14🇬🇺🏅2.2nm🧿 (m3🌠s) 改📗善至X/Y👨👦👦 = 45n🌔m/39.3n🏓m (m3s)🧙♀️。特别是👩🏫📛，其高数值孔🎵🖼径（Hi😰gh-NA）EU😏V系统中曝光层之🛀间的套刻🍓📌精度约为0.7🕟🇲🇺纳米，凸⚡显了该公司在❎🥌超精密🔘😢对准方面的强大☎📘能力🐍sem分析是什么。
