（来源：上观新闻）
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金属化后，🍮在 300🕡mm ☠📜全厚度硅晶圆上🉑覆盖一层碳氮化🧱📑硅 (S🇧🇼🤔iCN😭)，与二氧化硅 🔉(SiO2) 😉相比，Si📦CN 在较低的退🇸🇹🥃火温度下具🍳📠有更高的键👨🔧合强度，并🌕能改善铜扩散阻👩🦲🔩挡层的性能🧔。“纯扫描时🌛🐅seo与sem的区别是什么间可以达到15秒🙎以内🕎。过去的一切都为🈴⚪了让现🧹🏢在发生🌲。
